オックスフォード・インストゥルメンツ（本社：英国、オックスフォード）は、2023年6月21日、反射電子とX線 （Backscattered Electron and X-ray） のイメージングを1つに統合したBEX手法による、世界初のイメージング検出器 「Unity（ユニティ）」を発表しました。このUnityにより、研究者や科学者、そして学生は、走査電子顕微鏡（SEM）において、視覚的かつ化学的な試料分析をすばやく同時に達成することができます。

従来、SEMで材料の元素組成や構成を決定することは、手間のかかる工程の繰り返しでした。これには、先ず二次電子や反射電子の信号を元に白黒の電子像を取得し、それからX線信号を用いて化学組成を決定します。この作業は特に、異常のある領域や分析対象とすべき領域がどこにあるかを見つけるまで、繰り返しを必要とするので時間がかかります。しかし、オックスフォード・インストゥルメンツのUnity検出器と革新的なBEX手法を用いることで、BSEとX線の信号を同時に取得し、試料の微細構造と化学組成をフルカラーの高分解能イメージで瞬時に観察することが可能になります。

Unity検出器は、凹凸情報、結晶コントラスト、原子番号コントラスト、そして元素情報を統合し、瞬時に高解像度の視覚情報として表示します。ユーザーは試料内で目的の領域へ難なく移動し、かつてないほどシンプルかつ迅速に高度な試料分析を行うことができます。

オックスフォード・インストゥルメンツのチームは、6年の歳月をかけてUnity検出器を開発し、その結果、試料分析のワークフローに革命をもたらしました。Unity検出器のかつてないスピードにより、わずか数分で試料全体の正確かつ高分解能ケミカルマッピングを入手できます。ユーザーは、さらに調査が必要な特徴・領域を迅速に特定できます。詳細な調査を行う前にこの貴重なカートグラフィデータを自由に使えることで、ユーザーは直感的な探索ではなく、科学的な洞察へと素早く移行することができ、新たな研究の方向性を切り開くことができます。

Unity検出器は、ユーザーの試料分析手法に大きな進歩をもたらしました。それと共に、テストでは顕微鏡の生産性を最大100倍まで向上させるほど、試料分析にかかる時間を高速化することができました。

Unity検出器は、オックスフォード・インストゥルメンツの市場をリードするAZtecソフトウェアに対応しています。TruQ によるパイルアップ補正を含む正確な元素の同定や組成の決定、TruMapによるライブピーク分離計算、AutoIDによる元素のライブ検出とオートレイヤーによる画像カラーのライブ最適化などを備えています。

オックスフォード・インストゥルメンツのプロダクト・マネージャーであるDr Haithem Mansourは、「私たちのUnity検出器とBEX手法は、まさに画期的なものです。私たちは、複雑な試料分析をより迅速かつ容易にするだけでなく、プロセスをより力強く正確なものにし、ユーザーが試料の特定領域に注力するための時間をより多く確保できるように支援しています。Unity検出器のハードウェアとソフトウェアの強力な統合は、科学界に新しいレベルの確実性や信頼性、一歩をもたらし、科学的発見への旅を加速させます」と述べています。

製品の詳細は、下記ウェブサイトや動画をご覧くさい。

Unity検出器
https://nano.oxinst.jp/unity

Introduction to Unity BEX imaging detector
https://youtu.be/iId9-6iF7S4

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分析機器事業部
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オックスフォード・インストゥルメンツについて
オックスフォード・インストゥルメンツ（Oxford Instruments）は、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売やサポートを展開しています。その歴史は、英国のオックスフォード大学から独立し創業を果たした1959年に遡ります。以来60年以上にわたり、イノベーションは当社の成長と成功の原動力となってきました。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学と、多岐にわたるアプリケーションを通じて、よりグリーンな世界への喫緊の課題解決に、当社のコア技術が採用されています。物性物理研究用の極低温無冷媒希釈冷凍機や超電導マグネットをはじめ、電子顕微鏡用の元素分析装置、レーザーや光学式イメージング装置、更には原子レベルでの半導体プロセス用プラズマ技術でのデポジション・エッチングシステムなど、当社の様々な先端テクノロジー製品を提供しています。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社（Oxford Instruments　KK）は、Oxford Instrumentsが日本における事業推進を目的として設立した日本法人です。主に分析機器事業部、アンドール・テクノロジー事業部、アサイラム・リサーチ事業部、低温・超電導事業部、ビーテック事業部、マグネティック・レゾナンス事業部、MRI事業部で構成されています。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
資本金：2億2016万1020円
代表者：代表取締役社長　　合田　豊治
株　主：Oxford Instruments Holdings 2013 Inc., Andor Technology Ltd.
主要取引先：国公立及び民間企業の研究開発機関、半導体デバイスメーカー、電子顕微鏡メーカー
事業内容：科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取
設　立：1991年6月27日
認証取得：ISO9001 2015（2017年取得）

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