オムロン株式会社（本社: 京都市下京区、代表取締役社長CEO: 辻永順太 以下、オムロン）は、業界トップクラスの高速3D検査を可能とする CT型X線自動検査装置*² 3モデル、「VT-X750-XL（以下、X750-XL）」「VT-X850（以下、X850）」「VT-X950（以下、X950）」を開発しました。2024年2月以降に順次発売します。発売に先駆け、「VT-X950」ならびに検査事例を2023年12月13日～15日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2023」のオムロンブースで紹介します。
「SEMICON Japan 2023」のサイトはこちら https://www.semiconjapan.org/jp/home
CT型X線自動検査装置 新製品の提供価値
１.業界トップクラスの高速3D自動検査で半導体パッケージやパワー半導体における生産品質の安定化に貢献
２.独自AI技術による高度な画像処理によって良品／不良品を判断する検査設定を自動化
３.VTシリーズとして初めてクリーンルームに対応*³し、生産品目に応じた設定変更を自動化*⁴
同じはんだを2DでX線撮像した画像
3DでX線撮像した画像
モノリシックとチップレットの製品構造の違い
２. 独自AI技術による高度な画像処理によって良品／不良品を判断する検査設定を自動化
新たに独自のAI技術を採用し、撮像画像をディープラーニングによって処理することで、製品の良品／不良品判断のインライン検査をVT-Xシリーズとして初めて実現しました。AIが画像判断を行う際のパラメータ設定を自動化するほか、各製品のはんだづけ状態などを、生成した3Dモデルから自動的に判断します。これにより、熟練作業者による画像処理などの専門スキルに頼ることなく、検査プログラムの作成を自動化します。
従来方式 新方式
図：AIにより、ノイズと検査対象（ボイド）を明確に分離し、人の判断をアシスト（イメージ図）
３. VTシリーズとして初めてクリーンルームに対応し、生産品目に応じた設定変更を自動化
X950は、ウエハとウエハを接合するプロセスが生じる半導体の中工程向けに、VTシリーズとして初めてクリーンルームに対応しました。また、需要変動に伴う急な生産品目の変更に対応する検査設定の自動変更機能を実装しています。あらかじめ生産管理システムに登録された、生産品目に適した計測箇所や検査設定を参照し、自動で条件変更を行います。これにより、段取り替えによる設備トラブルや検査内容の再設定などといった立ち上げロスを軽減します。このほか、従来のVTシリーズと同様にコンベアによる自動搬入出機能を搭載し、製造プロセス内の自動化・省人化に貢献します。
製品詳細についてはこちら
→https://www.fa.omron.co.jp/product/inspection-system/sji-inspection-system/axi/
※１： 当社調べ。 サブミクロンオーダー検査が可能な、フル3D-CT型X線自動検査装置における検査性能。
2023年10月31日時点
※２： X線を用いて、ヒトの目に見えない構造物内部の連続的な断面の画像を撮影し、コンピューター処理することで、3次元の立体的な画像を得る技術を搭載した検査装置。医療機関などで利用されているCTスキャンと同様の技術を使用
※３： ISO 14644-1におけるClass 6基準に対応
※４： クリーンルーム対応および設定変更の自動化はX950のみ対応
※５： 立体画像を移動しながら止めることなく撮像する技術
※６： ICデバイス同士を接合させるために狭いピッチで形成したバンプ電極
※７： C4 (Controlled Collapsed Chip Connection)バンプと言われるこぶ状の導体突起を基板の電極に形成してウエハと接合すること
“i-Automation!” について
オムロンは、独自のコンセプト“i-Automation!”を進化させ、モノづくり革新を牽引しながら、地球環境との共存と働く人の働きがいを実現し、持続可能な産業の発展に貢献する新たなオートメーションを創出します。未来のモノづくりに向け、「人を超える自働化」、「人と機械の高度協調」という新たな生産性のあり方を追求し、これらを支える「デジタルエンジニアリング革新」を通じ、オートメーションで人、産業、地球の豊かな未来を創造してまいります。
詳しくはこちら：https://www.fa.omron.co.jp/our-value/i-automation/
オムロン株式会社について
オムロン株式会社は、独自の「センシング＆コントロール+Think」技術を中核としたオートメーションのリーディングカンパニーとして、制御機器、ヘルスケア、社会インフラ、電子部品など多岐にわたる事業を展開しています。1933年に創業したオムロンは、いまでは全世界で約30,000名の社員を擁し、世界130ヶ国以上で商品・サービスを提供しています。詳細については、https://www.omron.com/jp/ja/ をご参照ください。
配信元企業：オムロン株式会社
コメント