超純水用配管材のPFASフリー化の技術確立にめど

積水化学工業は7月8日、先端半導体製造における超純水用配管材について有機フッ素化合物を含まないPFASフリー化を可能とする新たな技術の確立にめどが立ったことを受けて、顧客への提案を本格化することを発表した。

半導体やFPDの製造では超純水が用いられるが、その配管資材の種類としては、樹脂材料では、硬質塩化ビニル(PVC)、ポリプロピレン(PP)、フッ素樹脂(PVDF、PTFE、PFA)が、金属材料では、特殊表面処理の金属管が使われてきており、製造プロセスの微細化が進む現在、さらなる不純物の混入を防ぐために、無機物および有機物の溶出ができるだけ少ない配管資材が求められるようになっている。

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（小林行雄）

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